辉光离子渗氮如何工作

辉光离子渗氮通常称为离子渗氮。辉光离子氮化在真空室（通常为500V〜700V）的直流电场的作用下进行。氮化时，将被处理的工件连接到高压直流电源的阴极，并且在工件周围布置连接到高压直流电源的阳极。当真空度达到13Pa以上时，将氨气引入真空室，并调节氨气的量以将真空室中的压力保持在1.3倍，102帕姆施塔特，6.6倍和102Pa之间。在阳极和阳极之间施加高压之后，氨气在高压电场的作用下被离子化以产生辉光放电。产生的正氮离子在电场的作用下迅速入射到阴极表面，在正离子轰击下会产生大量的热量。工件被加热到所需温度，因此离子氮化不需要外部加热。当th正离子以一定速度轰击阴极时，除了会产生大量热量外，阴极和电子也会同时溅射出来。从阴极发射的电子在向阳极移动的过程中，不断从电场中获取能量以使氨离子化。被电离的氮正离子继续快速移动到阴极，因此电离过程继续进行，并且真空室中的辉光放电继续发生。当positive氮的正离子轰击阴极时，电子在阴极处被捕获并还原为氮原子。它渗入金属表面并扩散到内部以形成氮化物层。